????無塵凈化車間裝修需圍繞潔凈度控制、工藝流程適配、材料選擇及系統(tǒng)集成四大核心展開。以下是關鍵要點匯總:
一、潔凈度分級與實現(xiàn)路徑
?百級至三十萬級標準?:依據(jù)《潔凈廠房設計規(guī)范》,半導體行業(yè)百級車間需通過FFU與層流罩組合實現(xiàn)0.5μm顆粒物≤3520個/m3,十萬級車間則依賴高效過濾與正壓維持系統(tǒng)。
?氣流組織優(yōu)化?:采用層流或亂流設計,通過高效送風口(不銹鋼框架+烤漆鋁板沖孔網(wǎng))與回風管道(熱鍍鋅板+PF發(fā)泡塑膠板)實現(xiàn)均勻空氣流動。
二、關鍵材料選擇
?地面材料?:
環(huán)氧自流坪地坪:耐磨、易清潔,適用于高潔凈區(qū)域。
防靜電PVC地板/高架地板:滿足電子行業(yè)防靜電需求,便于線纜鋪設。
?圍護結構?:
彩鋼板隔墻:可選巖棉夾芯(防火A級)或紙蜂窩夾芯(輕質(zhì)高強度)。
鋁扣板吊頂:防塵、易清潔,與照明系統(tǒng)集成設計。
?密封處理?:板材拼接處需用密封膠封閉,風管采用聯(lián)合角咬口并涂密封膠,減少漏風率。
三、施工核心流程
?潔凈環(huán)境控制?:
施工區(qū)域設置防塵隔離,進場材料需預清潔,施工人員穿戴潔凈服。
動態(tài)監(jiān)測顆粒物濃度,采用濕法作業(yè)減少揚塵。
?系統(tǒng)集成安裝?:
空調(diào)凈化系統(tǒng):風管安裝需保證制作精度(公差≤3mm),F(xiàn)FU布局匹配工藝設備分布。
電氣工程:潔凈空調(diào)、照明、設備配電獨立控制,線纜暗敷減少積塵點。
四、配套系統(tǒng)配置
?溫濕度控制?:芯片車間需保持溫度±1℃、濕度±5%RH精度,防止熱脹冷縮及靜電危害。
?照明系統(tǒng)?:LED密封燈具(照度300-500lux),無頻閃、低發(fā)熱,均勻度≥0.7。
?人/物流凈化?:設置風淋室、貨淋通道及緩沖間,實現(xiàn)人員/物料分級凈化。
五、行業(yè)適配案例
?半導體芯片?:千級潔凈室需控制截面風速0.25-0.35m/s,濕度40%-60%。
?生物醫(yī)藥?:十萬級車間采用環(huán)氧地面+彩鋼板墻體,配備BMS系統(tǒng)實時監(jiān)控壓差。
?食品加工?:三十萬級車間重點控制微生物指標,墻面采用抗菌涂層。
注意事項
?驗收標準?:潔凈度檢測需空態(tài)、靜態(tài)、動態(tài)三階段測試,粒子計數(shù)器采樣點不少于5個/m3。
?運維預留?:風管預留清掃孔及風量測試孔,高架地板下方預留30cm檢修空間。